详细介绍： 
JFS1电子级过氧化氢 本品主要用作集成电路板上含金属部分表面的腐蚀和硅晶片与集成电路的清洗等，有超大规模集成电路级（VLSI级）和标准电子级（EL级）。
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项目 |
指标 |
|
VLSI级 |
EL级 |
|
含量，%(W/W） |
≥ |
30.0 35.0 |
30.0 35.0 |
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游离酸（以H2S04计） |
PPM≤ |
30 |
30 |
|
不挥发物 |
PPM≤ |
20 |
-- |
|
有机碳（TOC） |
PPM≤ |
-- |
20 |
|
氯化物（CI-） |
PPM≤ |
0.5 |
0.5 |
|
磷酸盐（P03-4） |
PPM≤ |
1 |
2 |
|
硫酸盐（S02-4） |
PPM≤ |
1 |
5 |
|
铁（Fe） |
PPM≤ |
0.03 |
0.05 |
|
镍（Ni） |
PPM≤ |
0.01 |
0.05 |
|
铜（Cu） |
PPM≤ |
0.01 |
0.05 |
|
镉（Cd） |
PPM≤ |
0.01 |
0.05 |
|
铅（Pb） |
PPM≤ |
0.01 |
0.3 |
|
砷（As） |
PPM≤ |
0.01 |
0.01 |
|
铝（Al） |
PPM≤ |
0.1 |
0.5 |
|
铬（Cr） |
PPM≤ |
0.01 |
0.05 |
|
锌（Zn） |
PPM≤ |
0.05 |
0.1 |
|
钙（Ca） |
PPM≤ |
0.05 |
0.2 |
|
镁（Mg） |
PPM≤ |
0.05 |
0.1 |
|
钠（Na） |
PPM≤ |
0.05 |
0.5 |
|
钾（K） |
PPM≤ |
0.05 |
0.5 |
|
锰（Mn） |
PPM≤ |
0.01 |
0.05 |
|
钼（Mo） |
PPM≤ |
0.01 |
-- |
|
钛（Ti） |
PPM≤ |
0.01 |
0.3 |
|
硼（B） |
PPM≤ |
0.02 |
0.1 |
|
锡（Sn） |
PPM≤ |
0.02 |
1 |
|
金（Au） |
PPM≤ |
0.02 |
0.3 |
|
银（Ag） |
PPM≤ |
0.02 |
-- |
|
钡（Ba） |
PPM≤ |
0.05 |
-- |
|
钴（Co） |
PPM≤ |
0.01 |
-- |
|
铂（Pt） |
PPM≤ |
0.02 |
-- |
|
铋（Bi） |
PPM≤ |
0.02 |
-- |
|
铟（ln） |
PPM≤ |
0.02 |
-- |
|
锂（Li） |
PPM≤ |
0.01 |
-- |
|
锶（Sr） |
PPM≤ |
0.01 |
-- |
|
铊（Tl） |
PPM≤ |
0.02 |
-- |
|
铍（Be） |
PPM≤ |
0.01 |
-- |
|
镓（Ga） |
PPM≤ |
0.02 |
-- |
|
锗（Ge） |
PPM≤ |
0.02 |
-- |
|
钒（V） |
PPM≤ |
0.01 |
-- |
|
锆（Zr） |
PPM≤ |
0.01 |
|
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手 机: 13179287888 13674379900
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英文版
JFSI电子级过氧化氢
Electron level hydrogen peroxide
The Electron leve hydrogen peroxide mainly serves as the Cleansing agent for integrated circuit panel including the metal department his surface corrosion and the silicon chip,has the ultra large scale integrated circuit leve(the VLSI level)and the standard electron level(the EL level).
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项目
Project |
指标（ppm）Target |
|
超大规模集成电路级
（VLSI Level） |
电子级
（EL Level） |
|
含量Assay,% W/W |
30-35.0 |
30-35.0 |
|
颗粒（≥0.5微米）
Particles（≥0.5um） |
250个/ML |
250个/ML |
|
游离酸Free acid
（以H2SO4计） |
max30 |
max30 |
|
不挥发物involatile matter |
max20 |
— |
|
有机碳(TOC) Organic carbon |
— |
max20 |
|
氯化物（CT）Chloride |
max0.5 |
max0.5 |
|
磷酸盐(PO3-4)Phosphate |
max1 |
max2 |
|
硫酸盐(SO2-4)Sulphate |
max1 |
max5 |
|
铁(Fe)Iron |
max0.03 |
max0.05 |
|
镍（Ni）Nickel |
max0.01 |
max0.05 |
|
铜（Cu）Copper |
max0.01 |
max0.05 |
|
镉（Cd）Cadmium |
max0.01 |
max0.05 |
|
铅（Pb）Lead |
max0.01 |
max0.3 |
|
砷（As）Arsenic |
max0.01 |
max0.01 |
|
铝（Al）Aluminium |
max0.1 |
max0.5 |
|
铬（Cr）Chromium |
max0.01 |
max0.05 |
|
锌（Zn）Zinc |
max0.05 |
max0.1 |
|
钙（Ca）Calcium |
max0.05 |
max0.2 |
|
镁（Mg）Magnesium |
max0.05 |
max0.1 |
|
钠（Na）Sodium |
max0.05 |
max0.5 |
|
钾（K）Potassium |
max0.05 |
max0.5 |
|
锰（Mn）Manganese |
max0.01 |
max0.05 |
|
钼（Mo）Molybdenum |
max0.01 |
— |
|
钛（Tj）Titanium |
max0.01 |
max0.3 |
|
硼（B）Boron |
max0.02 |
max0.1 |
|
锡（Sn）Tin |
max0.02 |
max1 |
|
金（Au）Gold |
max0.02 |
max0.3 |
|
银（Ag）Silver |
max0.02 |
— |
|
钡（Ba）Barium |
max0.05 |
— |
|
钴（Co）Cobalt |
max0.01 |
— |
|
铂（Pt）Platinum |
max0.02 |
— |
|
铋（Bi）Bismuth |
max0.02 |
— |
|
铟（In）Indium |
max0.02 |
— |
|
锂（Li）Lithium |
max0.01 |
— |
|
锶（Sr）Strontium |
max0.01 |
— |
|
铊（Tl）Thallium |
max0.02 |
— |
|
铍（Be）Beryllium |
max0.01 |
— |
|
镓（Ga）Gallium |
max0.02 |
— |
|
锗（Ge）Germanium |
max0.02 |
— |
|
钒（V）Vanadium |
max0.01 |
— |
|
锆（Zr）Zirconium |
max0.01 |
— |
包装规格Packing specification: 25kg聚乙烯桶25kgPolyethylene barrel
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